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一种新型三维纳米测头的理论及关键技术研究

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微纳米测量技术是当前测量技术研究的前沿领域,研制具有纳米级测量精度的三维测头系统,解决精密零件、微电子电路、MEMS器件等领域的高精度三维坐标测量难题,具有十分重要的研究意义.本项目应用新型传感技术,完成光纤布拉格光栅(FBG)的新型触发式三维测头系统的研究,该光纤布拉格光栅三维触发式纳米测头的研制为开发纳米级三维测头系统开辟了一条新的途径,为纳米测头的实用化提供了理论和实践依据.

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来源
《第十二届设计与制造前沿国际会议（ICFDM2016）》|2016年|355|共1页
会议地点沈阳
作者
刘芳芳;
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作者单位

国家自然科学基金委员会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TH721:TH703;
关键词
触发式三维纳米测头; 光纤布拉格光栅; 传感技术; 三维坐标测量;

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