电容式微机械陀螺仪的设计与仿真分析

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机译：双电容器重合放电式微流星穿透传感器的初步实验研究

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机译：电容式微机械超声换能器和包括电容式微机械超声换能器的测试对象信息获取装置

机译：具有模拟复位的电容式微机械传感器的操作方法以及电容式微机械传感器的电路配置