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光刻机的防死锁调度

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摘要

半导体生产线是目前世界上公认的最复杂的制造系统之一.光刻机是半导体晶圆制造的瓶颈设备,其费用相当昂贵.光刻机由若干个自动组合装置组成,如果调度不当,生产可能会出现死锁.死锁的发生不仅大大降低光刻机的效率,而且破坏晶圆质量.本文利用图论的算法编制软件并进行仿真可以得到无死锁的调度方案.

著录项

来源
《微型电脑应用》 |2008年第6期|52-54|共3页
作者
何晓晻; 吴智铭;
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作者单位

上海交通大学自动化系控制理论与控制工程专业;

上海 200240;

上海交通大学自动化系控制理论与控制工程专业;

上海 200240;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP311.11;
关键词
晶圆制造; 光刻机; 无死锁调度;

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