一种基于薄膜体声波谐振器的高灵敏度质量传感器

马绍宇; 韩雁; 董树荣; 李侃; 周海峰

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一种基于薄膜体声波谐振器的高灵敏度质量传感器

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介绍了一种针对于生物传感应用的薄膜体声波谐振(thin film bulk acoustic resonator,FBAR)质量传感器.薄膜体声波谐振器谐振频率非常高(能够达到几兆赫兹),同时具有较大的品质因数,基于这种器件的质量传感器具有非常高的质量灵敏度.首次提出了三对全金属的A1-W层作为布拉格声学反射层的FBAR,制备出了固态装配型的FBAR传感器.通过淀积不同厚度Al层顶电极分析了器件的质量灵敏度,仿真得到的质量传感器串联谐振频率在2.8 GHz附近,质量响应度达到5×10-4 ng/Hz//cm2,可以实现分子量级的质量传感.

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来源
《微细加工技术》 |2007年第6期|40-44|共5页
作者
马绍宇; 韩雁; 董树荣; 李侃; 周海峰;
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作者单位

浙江大学微电子与光电子研究所,杭州310027;

浙江大学微电子与光电子研究所,杭州310027;

浙江大学微电子与光电子研究所,杭州310027;

浙江大学微电子与光电子研究所,杭州310027;

浙江大学微电子与光电子研究所,杭州310027;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类混合集成电路;
关键词
质量传感器; 薄膜体声波谐振器; 灵敏度; 固态装配型谐振器;

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