使用ECR苯等离子体沉积含氢非晶碳薄膜

马春兰; 程珊华; 宁兆元; 叶超; 康健; 辛煜

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用苯作工作气体,在一个电子回旋共振(ECR)微波等离子体化学气相沉积系统中制备了含氢非晶碳膜(a-C:H).对苯等离子体作了质谱分析,发现苯分解后形成的主要基团是C2H4等,而不是常规甲烷放电的CH3,这将影响膜的结构.实验中还考察了沉积参数,如功率、气压、流量、基片温度对膜的沉积速率的影响.实验表明:沉积速率随微波功率、气压和流量的增加而上升;随温度的升高先升后降,存在极值.对制备的膜柞了氢含量和Raman谱分析,结果显示随着基片温度的增加,sp3结构在膜中所占的比例增大,膜更趋向于类金刚石膜.

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来源
《微细加工技术》 |2000年第4期|28-35|共8页
作者
马春兰; 程珊华; 宁兆元; 叶超; 康健; 辛煜;
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作者单位

苏州铁道师范学院物理系,苏州,215000;

苏州铁道师范学院物理系,苏州,215000;

苏州铁道师范学院物理系,苏州,215000;

苏州铁道师范学院物理系,苏州,215000;

苏州铁道师范学院物理系,苏州,215000;

苏州铁道师范学院物理系,苏州,215000;

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正文语种 chi
中图分类 TN304.55;
关键词
ECR-CVD; 基片温度:非晶碳膜;

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