首页> 中文期刊> 《微处理机》 >多晶硅发射极技术在八位高速视频DAV中的应用

多晶硅发射极技术在八位高速视频DAV中的应用

         

摘要

掺磷(砷)多晶硅形成NPN晶体管发射结果提高fT及双极集成电路工作程度的最佳途径之一,目前被广泛应用。通过对LPCVD多晶硅生长、掺杂、退火及刻蚀工艺研究,确定制造高fT及β值的NPN晶体管最佳工艺条件及参数控制,研制出速度小于4ns高性能多元逻辑八位高速视频D/A转换器集成电路。该产品主要电参数性能已达到及部分超过了目前国际先进产品的水平。

著录项

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号