洁净室过滤器效率现场测试的实现

著录项

• 来源
  《现代电子技术》 |2008年第2期|175-176182|共3页
• 作者

  马励行; 邹丽新; 季晶晶; 姜杏辉; 孙平;

  展开▼
• 作者单位

  苏州大学,物理科学与技术学院,江苏,苏州,215006;

  苏州大学,物理科学与技术学院,江苏,苏州,215006;

  苏州大学,物理科学与技术学院,江苏,苏州,215006;

  苏州大学,物理科学与技术学院,江苏,苏州,215006;

  苏州大学,物理科学与技术学院,江苏,苏州,215006;

  展开▼
• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 数据处理、数据处理系统;
• 关键词

  洁净室; 过滤器效率; 测试系统; 单片微机;