基于MEMS技术的三明治结构被动阀微泵研制

耿照新; 邢冰冰; 丁仁伟

首页> 中文期刊> 《纳米技术与精密工程（英文）》 >基于MEMS技术的三明治结构被动阀微泵研制

基于MEMS技术的三明治结构被动阀微泵研制

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

为解决微泵自吸困难、难以实现流速精确控制等问题,利用MEMS技术研制出具有三明治结构和两被动阀的压电驱动微泵,其中泵腔、泵膜和阀片分别由硅、聚二甲基硅氧烷(PDMS)和SU-8构成.从理论上,分别对气体和液体微泵的工作原理、被动阀性能以及结构参数对微泵工作性能的影响进行了分析.综合两类微泵特点,提出了气液两用微泵设计方案、工艺流程及其优化方案.在不同驱动电压条件下测试了具有不同形状泵腔、不同阀口尺寸和不同类型阀片结构的微泵.实验结果表明,该微泵可用于气体和液体介质,气、液体的最大流量分别达到53.6mL/min和1 280μL/min;泵腔高度影响到微泵的体积压缩比,是影响微泵自吸的一个重要因素.该泵具有结构简单、自吸、低成本、易于加工及操作方便的特点.

著录项

来源
《纳米技术与精密工程（英文）》 |2012年第2期|113-119|共7页
作者
耿照新; 邢冰冰; 丁仁伟;
展开▼
作者单位

中央民族大学信息工程学院;

中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH302;
关键词
MEMS; 微泵; 微阀; SU-8;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 基于MEMS技术的SU-8胶被动微阀片的设计与研制 [J] . 耿照新 ,崔大付 ,马小玲 . 纳米技术与精密工程 . 2008,第005期
2. 动态被动阀微泵的设计优化和制造 [J] . 张卫平 ,陈文元 ,吴校生 . 机械设计与研究 . 2003,第2期
3. 一种基于MEMS技术的压电微泵的研究 [J] . 王海宁 ,崔大付 ,耿照新 . 传感器与微系统 . 2006,第008期
4. 基于MEMS技术的三明治型电磁式微振动能量采集器 [J] . 王佩红 ,刘慧婷 ,杨卓青 . 纳米技术与精密工程 . 2010,第006期
5. 基于玻璃-PDMS复合结构的微型毛细管被动阀 [J] . 牛志强 ,贾晓宇 ,李建华 . 功能材料与器件学报 . 2005,第3期
6. 动态被动阀微泵的研究 [C] . 徐正福 ,陈文元 ,张卫平 . 第五届全国微米/纳米技术学术会议 . 2001
7. 基于MEMS技术的自吸微泵的研制 [A] . 王海宁 . 2006

基于MEMS技术的三明治结构被动阀微泵研制

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅