动态被动阀微泵的研究

著录项

• 来源
  《第五届全国微米/纳米技术学术会议》|2001年|366-368|共3页
• 会议地点 重庆
• 作者

  徐正福; 陈文元; 张卫平; 陈晓梅;

  展开▼
• 作者单位

  国家自然科学基金委员会;

  科技部;

  解放军总装备部;

  清华大学;

  重庆大学;

  展开▼
• 会议组织
• 正文语种
• 原文格式 PDF
• 中图分类 设计;
• 关键词

  动态被动阀; 微泵; 微细加工; 微机械电子系统; 有限元方法; 腐蚀工艺;