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一种用于直线度测量的多功能、简单、低成本电容传感器

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摘要

线性运动在精密工程中被广泛应用。由于寄生运动的存在,要实现线性工作台或轴承完美无缺的直线运动几乎是不可能的。这些寄生运动包括:两个方向的平动(y和z),三个方向的转动,即滚动(Φ_x),垂直俯仰(Φ_y),水平晃动(Φ_z)。使用机械元件,这些寄生运动的数量级分别为1μm和1mrad。

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来源
《国防科技》 |1997年第3期|15-18|共4页
作者
G.J.P.Nijsse; C.Hengst; J.W.Spronck; 吴宇列;
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作者单位

尼德兰德尔夫特技术大学机械工程系微工程实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电容测量及仪器;
关键词
直线度测量; 电容传感器; 电容测量;

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