亚微米球形硅微粉的制备技术研究进展

著录项

• 来源
  《新技术新工艺》 |2020年第7期|24-29|共6页
• 作者

  李晓冬; 曹家凯; 张建平; 姜兵; 胡世成; 刘杰;

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• 作者单位

  江苏联瑞新材料股份有限公司 江苏 连云港 222000;

  江苏联瑞新材料股份有限公司 江苏 连云港 222000;

  江苏联瑞新材料股份有限公司 江苏 连云港 222000;

  江苏联瑞新材料股份有限公司 江苏 连云港 222000;

  江苏联瑞新材料股份有限公司 江苏 连云港 222000;

  南京理工大学 化工学院 国家特种超细粉体工程技术研究中心 江苏 南京 210094;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 硅及其无机化合物;
• 关键词

  亚微米; 球形硅微粉; 粉末技术; 火焰法; 特种功能无机非金属材料; 集成电路技术;