一新型3自由度柔性微动平台的设计和分析

赵鹏; 高金海

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一新型3自由度柔性微动平台的设计和分析

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为解决微定位平台大行程与高精度之间的矛盾，本文设计一新型柔性精密微动平台，并利用螺旋理论对其进行相应的运动特性分析。该柔性微动平台是将三个柔支链构分别作用于工作台的三个轴向上，对柔性机构施加相应的力，使工作台做相应的移动。通过对该平台的有限元分析，获取施加力与各个轴向位移的关系，及输入位移与输出位移之间关系，以使该柔性微动平台达到微米级定位精度的目的。

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来源
《中国新技术新产品》 |2016年第7期|1-3|共3页
作者
赵鹏; 高金海;
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作者单位

辽宁抚顺市技师学院实习一厂;

辽宁抚顺 113123;

辽宁石油化工大学机械工程学院;

辽宁抚顺 113001;

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正文语种 chi
中图分类结构;
关键词
微动平台; 柔性机构; 螺旋理论; 有限元分析;

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