硅基电感LC滤波器的研究

叶波涛

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该文根据微机电系统(MEMS)的相关工艺进行开发并且制成了小型的P频段LC滤波器.该滤波器的制造过程中采用了硅通孔(TSV)的相关技术,并利用双硅片键合的方法加工制作.LC谐振式电路的电感元器件为螺旋型电感且集成于硅片上层,电容元器件使用薄膜型电容且集成于硅片下层.该文选用1种频率为755 MHz,矩形参数不大于1.5的LC滤波器.其仿真模拟计算的结果与规划设计基本一致,证明了硅基立体电感LC滤波器满足设计要求.

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来源
《中国新技术新产品》 |2021年第2期|12-14|共3页
作者
叶波涛;
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作者单位

中国船舶重工集团公司第八研究院江苏扬州225001;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类滤波技术、滤波器;
关键词
硅通孔; Au-Au键合; 电感; LC滤波器;

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