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硅粒子探测器自动中测系统

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本文介绍了一种适合硅粒了探测器的自动中测系统，可同时测量１６个样品，全部由微机控制，数据存放在微机中，可以给出了统计数据，也可绘出特性曲线，从而大大提高了测试效率与质量，目前用于测量硅粒子探测器反向Ｉ－Ｖ曲线，实验表明，本装置测得的数据是可靠的，并大大提高了效率。

著录项

来源
《核电子学与探测技术》 |1998年第3期|166|共1页
作者
张小军; 张继盛; 王勇;
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作者单位

清华大学微电子学研究所;

清华大学微电子学研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体探测器（晶体探测器）;
关键词
自动测量系统; 硅粒子探测器; 小电流; 测试效率;

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