RBS和XRD研究Fe、N共掺ZnO薄膜的制备

张斌; 荣丽媛; 李敏; 王建中; 施立群

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RBS和XRD研究Fe、N共掺ZnO薄膜的制备

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以Zn3N2:Fe为前驱物,用热氧化法在石英玻璃衬底上成功制备了一组Fe、N共掺杂的ZnO薄膜.用卢瑟福背散射(RBS)和X射线衍射(XRD)研究了Zn3N2:Fe在不同热氧化温度下的退火行为和结构演变.实验结果显示:刚长成的样品为Zn3N2:Fe薄膜；300℃氧化后,样品表层的Zn3N2:Fe转化为ZnO:(Fe,N),表层以下的膜层未被氧化；退火温度高于400℃时,Zn3N2:Fe薄膜全部转化为多晶结构的ZnO:(Fe,N)薄膜；500℃退火,薄膜开始向衬底扩散；600℃-700℃退火,薄膜向衬底扩散明显.在XRD灵敏度范围内,薄膜中未发现Fe团簇或与Fe相关的二次相(如Fe3O4、Fe2O3、FeO). SQUID测量显示:在500℃退火条件下,ZnO:(Fe,N)薄膜的室温饱和磁化强度(Ms)最大.

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来源
《核技术》 |2013年第2期|7-10|共4页
作者
张斌; 荣丽媛; 李敏; 王建中; 施立群;
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作者单位

复旦大学现代物理研究所上海200433;

复旦大学现代物理研究所上海200433;

复旦大学现代物理研究所上海200433;

复旦大学现代物理研究所上海200433;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类粉末法;薄膜的生长、结构和外延;原子能技术的应用;
关键词
卢瑟福背散射; X射线衍射; 热氧化法; ZnO:(Fe,N)薄膜;

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