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Fe-(Co6Ag94)颗粒膜磁光芯片的制备及研究

     

摘要

采用二分掩膜技术向溅射沉积的Co6Ag94薄膜中组合注入Fe离子,制备成具有不同Fe含量的16单元Fe-(Co6Ag94)颗粒膜磁光芯片.对制备态和退火态的Fe-(Co6Ag94)颗粒膜的物相进行了XRD研究.不同退火温度下,物相的演变反映出了退火过程中Co、Fe相和FeCo相纳米微晶的析出长大过程.采用原子力显微镜(AFM)对薄膜表面的研究结果表明,在退火过程中形成了嵌于基底中的纳米颗粒相.对制备态和不同温度退火后芯片各单元的磁光性能进行了测量,结果表明极向Kerr旋转角θk随着注入Fe含量的增加而增大,这可归因于颗粒膜中铁磁相的增多.在500℃以下,随着退火温度的增加,Fe-(Co6Ag94)颗粒膜的克尔磁光效应增加.对不同温度退火的样品进行穆斯堡尔谱测量,结果证明一定尺寸纳米Fe微晶颗粒的出现是磁光效应提高的主要原因之一.

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