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变间距光栅刻线密度的测试精度分析

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摘要

介绍了衍射法测量变间距光栅线密度的测量系统.该测量系统由激光器、准直镜、光栅转动台(含角度测量仪)、直线工作台、光栅调节架、探测器和待测光栅组成.分析了系统中各种误差对测量精度的影响,以及变间距光栅参数的变化对光学系统的影响和补偿办法.计算表明,该系统的测试精度满足光束线对光学系统的性能要求.

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来源
《核技术》 |2001年第7期|557-563|共7页
作者
陈锵; 王秋平; 余小江; 周洪军; 王琪民;
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作者单位

中国科学技术大学;

中国科学技术大学;

中国科学技术大学;

中国科学技术大学;

中国科学技术大学精密机械与精密仪器系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类质谱仪（质谱计）;光度学（测光学）;
关键词
变间距光栅; 线密度; 单色器;

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