电子回旋共振离子源的研制及应用

刘仲阳; 孙官清; 张大忠; 陈剑宣

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电子回旋共振离子源的研制及应用

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描述了一台电子回旋共振离子源的设计、结构及特性.为了获得离子源的长寿命、较高的等离子密度以及高效的传输微波功率,利用合适的三层微波输入窗(石英、Al2O3陶瓷和BN)是很有效的.采用两个带有磁轭的螺线管线圈能够产生满足共振条件(87.5mT)和约束等离子的轴向磁场.利用本源离解CH4-NH3制备成三种C:N膜,经真空退火后,其中两种C:N膜裂解成不同粗细的团簇纤维.

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来源
《核技术》 |1999年第6期|343-347|共5页
作者
刘仲阳; 孙官清; 张大忠; 陈剑宣;
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作者单位

四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术开放实验室,成都,610064;

四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术开放实验室,成都,610064;

四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术开放实验室,成都,610064;

四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术开放实验室,成都,610064;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类原子核物理学、高能物理学;
关键词
ECR离子源; 微波输入窗; 磁场; C:N团簇纤维;

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