高能离子注入对聚酰亚胺薄膜硬度的影响

张超; 周筑颍

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高能离子注入对聚酰亚胺薄膜硬度的影响

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报道了聚酰亚胺薄膜在高能（６５０ｋｅＶ－２ＭｅＶ）Ｂ＾＋、Ｃ＾＋和Ｃｕ＾＋离子注入后硬度的变化。对注入样品进行了显微硬度测量和ＸＰＳ及ＲＢＳ分析，观察了硬度与离子种类、能量及注入剂量的依赖关系。结果表明，离子注入之后薄膜样品的显微硬度值明显提高，注入离子在样品中的电子能量损失对聚合物材料改性起着关键作用。ＸＰＳ和ＲＢＳ分析显示，离子注入之后聚酰亚胺薄膜中Ｃ的含量增加，形成了以苯环结构为主的新的交联

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来源
《核技术》 |1998年第8期|460-464|共5页
作者
张超; 周筑颍;
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作者单位

基于加速器的原子物理和核物理实验室物理大学现代物理;

基于加速器的原子物理和核物理实验室物理大学现代物理;

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正文语种 CHI
中图分类 O631.21;
关键词
高能离子注入; 聚酰亚胺; 显微硬度; XPS; RBS;

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