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γ射线辐照对MOS/SIMNI器件电学性能的影响

         

摘要

利用N^+注入形成的SIMNI与激光再结晶的SOI材料制作了MOS器件,比较研究了^(60)Co γ射线辐照对两种SOI材料制作的MOS器件电学性能的影响。

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