多阴极金属蒸气真空弧离子源

朱祥正; 张荟星

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设计了一台多阴极的金属蒸气真空弧离子源,它有18个阴极,任一阴极都能在真空状态下被迅速接入电路工作。这是一种新型的强流金属离子源,特别适用于离子注入、材料改性。在脉冲工作方式下,引出了Al、Ti、Cr、Ni、Cu和Nb等元素的离子,平均束流达10mA以上,引出束流与阴极材料、弧流、引出电压等有关。该源的工作真空度为300μPa。

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来源
《核技术》 |1991年第8期|479-484|共6页
作者
朱祥正; 张荟星;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TL629.1;
关键词
离子源; 真空弧放电; 等离子体;

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