激光调阻预置式变速光刻控制

孙继凤; 汤建华

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全自动激光调阻机是各种薄、厚膜片式电阻的工业化专用生产设备,提高调阻性能是提升设备生产力,降低生产成本,节能增效的主要途径.因此,在原系统基础上对激光调阻中光束定向控制系统进行改进设计,以先验知识为基础,构造预置、简单变速、实时变速等光刻控制模型,得到预置式变速光刻控制方法.它能根据不同的精度、速度要求和片阻初值偏差进行优化决策,实现在激光粗调电阻时,采用快速光刻;在激光精调电阻时,采用慢速光刻.这样不仅动态改变了片阻的光刻阻值变化率,提高了调阻精度,而且缩短了粗调光刻时间,提高了调阻速度,从整体上提高了激光调阻性能.

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来源
《光机电信息》 |2007年第1期|21-25|共5页
作者
孙继凤; 汤建华;
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作者单位

中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033;

中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033;

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正文语种 chi
中图分类光电子技术、激光技术;
关键词
激光调阻; 预置式控制; 变速控制; 调阻速度; 调阻精度;

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