MEMS和微流体分析系统的发展

鞠挥; 吴一辉

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微机电系统(MEMS)是在微电子及微机械等学科基础上发展起来的新兴多学科交叉研究领域,是当今科学技术最具潜力的发展方向之一,而微型流体分析系统是这一研究领域中的热点.本文综述了MEMS技术以及作为MEMS技术一个重要研究方向的微型流体分析系统的起源及其广阔的市场应用前景,并对MEMS产品的市场化存在的问题进行了讨论.MEMS技术及微型流体分析系统的诞生必将对今后的化学、医学及生物学等领域的研究工作产生重大影响.

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来源
《光机电信息》 |2003年第7期|27-31|共5页
作者
鞠挥; 吴一辉;
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作者单位

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130022;

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130022;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类计算技术、计算机技术;
关键词
微机电系统; 微流体分析系统; MEMS; 发展;

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