微型光传感器

王玉英

首页> 中文期刊> 《光机电信息》 >微型光传感器

微型光传感器

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

@@ 1引言rn近年来,利用小型、集成化的微型光学系统的传感技术在微机械领域得到了长足的发展(见表1).利用微细加工技术使批量生产和降低成本成为可能,而光学元件、电子元件和微机械元件的集成化可望实现高功能化和智能化,从而人们期望这些元件在工业方面得到广泛应用.光学元件的集成形式有光波导型、在硅基底上自由配置光学元件的自由空间型和混合型三种.在制作方法上,分为只利用程序加工技术集成光学元件的单片集成和将一部分光学元件表面组装在一起的混合集成两种.

著录项

来源
《光机电信息》 |2002年第11期|21-22|共2页
作者
王玉英;
展开▼
作者单位

无;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类自动化技术及设备;
关键词
微型光传感器; 集成位移传感器; 微光学系统;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. O8H200微型红外线/红光传感器 [J] . . 传感器世界 . 2017,第6期
2. 美研发出针对纳米粒子的微型激光传感器 [J] . . 机电一体化 . 2011,第7期
3. 微型光传感器 [J] . 杨妹清 ,任延同 . 光机情报 . 1992,第012期
4. Intersil推出最小封装的环境及红外光传感器,为手持设备、个人电脑、电视和工业显示中的光传感器设计设立新的标准 [J] . . 电子设计工程 . 2013,第23期
5. 山西省财政厅山西省中小企业局中国银行业监督管理委员会山西监管局关于印发《山西省小型微型企业贷款风险补偿资金管理暂行办法》的通知：山西省小型微型企业贷款风险补偿资金管理暂行办法山西省小型微型企业贷款风险补偿资金管理暂行办法山西省小型微型企业贷款风险补偿资金管理暂行办法山西省小型微型企业贷款风险补偿资金管理暂行办法 [J] . 无 . 山西政报 . 2013,第014期
6. 存量背景下的微型公共空间规划实施路径探讨——以武汉市江岸区微型公共空间规划设计为例 [C] . 邓星 ,郑洁 . 2017中国城市规划年会 . 2017
7. 贵金属簇荧光传感器和增强型电致化学发光传感器的研究 [A] . 郭云霞 . 2016

微型光传感器

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅