软X射线高反射率多层膜反射镜

机译：经过界面工程设计的超短周期Cr-Ti多层膜，可作为高反射率反射镜和偏振器，用于波长为2.74 nm的软X射线

机译：250 eV的高反射率Cr / C多层膜，用于软X射线极化法

机译：高反射率La / B多层反射镜，波长为6.x nm

机译：在软X射线和EUV范围内用作相延迟器和光谱纯度滤光片的独立多层膜 r n t r n r n在软x射线中用作相延迟器和光谱纯度滤光片的独立多层膜-射线和

机译：用于多层反射镜的EUV /软X射线区域中材料的光学常数。

机译：用于MAX parallelIV的软X射线束线的五轴平行运动反射镜单元

机译：外延铍膜和铍基多层反射镜，用于软X射线。

机译：软X射线分束器和高色散多层反射镜用作软X射线激光腔组件

机译：使用软X射线多层膜反射镜的软X射线多层膜反射镜和具有投影光学系统的曝光设备

机译：软X射线多层膜反射镜和软X射线反射光学系统

机译：多层膜去除处理器，多层膜反射镜，其生产方法，软X射线光学系统和曝光设备