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友达6代线试制出微晶硅TFT32in液晶面板

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cqvip:友达光电（AUO）使用由第6代大尺寸底板生产线的等离子CVD装置形成的微晶硅．试制出了32in电视用TFT液晶面板。与非晶硅（a-Si）TFT相比，采用μc Si—TFT有可能获得更高的迁移率。另外，还可实现用多晶硅（p-Si）TFT难以实现的、基于第5代以后大尺寸底板的工艺。

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来源
《光机电信息》 |2008年第6期|P.66|共1页
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正文语种 chi
中图分类 TN873.93;
关键词
TFT液晶面板; 微晶硅; CVD装置; 大尺寸; 等离子; 生产线; 非晶硅;

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