微电子技术向纳电子技术的进化

张煦

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微电子技术向纳电子技术的进化

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本文先扼要回顾电子技术的进展历程,从晶体管至微电子集成电路,并引伸至光电子器件,近来又有倾向从微米尺度缩小至纳米尺度,即从微电子技术向纳电子技术进化。文中估测大规模集成电路发展遇到的极限,又说明光电子器件激光管和开关管及集成的现状和趋向,以及超级计算机硅和砷化镓集成芯片的现状和推测。最后,简单叙述微加工技术现状和纳加工技术的开端,包括薄膜形成、版图制备、刻蚀工艺和测试仪器等技术,从而看出纳电子技术有可能开始起步。

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来源
《光通信技术》 |1993年第3期|129-136|共8页
作者
张煦;
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作者单位

无;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类微电子学、集成电路（IC）;
关键词
微电子技术; 纳电子技术; 光电子器件;

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