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用反射式光电显微镜进行分离间隙精密测定

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本文介绍了间隙测量的原理、试验装置、方法及结果,并对反射式光电显微镜进行分离间隙测定的方法进行了分析比较,认为不论从理论上还是在实验中,该方法用于一般光刻中的间隙测量是可行的。

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来源
《光学仪器》|1981年第4期|40-4282|共3页
作者
柯炳秋; 李铭扬; 朱能德;
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作者单位

福建省光学技术研究所;

上海光学仪器研究所;

上海光学仪器研究所;

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