光学元件表面缺陷检测方法研究现状

向弋川; 林有希; 任志英

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光学元件表面缺陷检测方法研究现状

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随着科学技术的发展,人们对光学元件的表面粗糙度和表面面形精度提出了越来越高的要求,光学元件表面缺陷检测技术也受到了广泛重视.通过简述表面缺陷的类型,强调了缺陷给光学系统带来的危害,由此分析和讨论了目前国内外对光学元件疵病的检测方法,并指出各种方法的优缺点,同时对机器视觉技术在疵病检测方面的应用进行了介绍,还探讨了光学元件表面缺陷检测技术未来发展需要注意解决的问题.

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来源
《光学仪器》 |2018年第1期|78-87|共10页
作者
向弋川; 林有希; 任志英;
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作者单位

福州大学机械工程及自动化学院,福建福州 350108;

福州大学机械工程及自动化学院,福建福州 350108;

福州大学机械工程及自动化学院,福建福州 350108;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类信息处理（信息加工）;
关键词
光学元件; 表面缺陷; 数字图像处理; 机器视觉;

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