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基于微分干涉相衬的相位分析法研究

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摘要

通过对微分干涉相衬显微定量测量方法进行研究,提出了一种更有效的相位分析法.即在不对双光束干涉光路进行改造或处理的前提下,通过对光学成像进行处理而得到理想的结果.即把图像中的光强信号转变成相位信号,并通过维纳滤波对噪声进行了消除,最后获得表面微观形貌定量参数.

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来源
《光学仪器》 |2008年第2期|17-20|共4页
作者
杨险峰; 丁志华;
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作者单位

九江学院机械工程学院,江西,九江,332005;

九江学院机械工程学院,江西,九江,332005;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类显微镜;
关键词
微分干涉相衬(DIC); 定量测量; 维纳滤波; 相位分析法;

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