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微分干涉相衬显微镜中Nomarski棱镜设计

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摘要

研究了Nomarski棱镜的设计理论和方法,分析了Nomarski棱镜的分束角、相干平面位置、相干平面倾角与棱镜各参数之间的相互关系,在此基础上获得了一个实用的Nomarski棱镜设计结果.

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来源
《湖北工业大学学报》 |2006年第6期|1-3|共3页
作者
许忠保; 张塑默;
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作者单位

湖北工业大学机械工程学院,湖北,武汉,430068;

湖北省现代制造质量工程重点实验室,湖北,武汉,430068;

湖北工业大学机械工程学院,湖北,武汉,430068;

湖北省现代制造质量工程重点实验室,湖北,武汉,430068;

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正文语种 chi
中图分类理论;
关键词
微分干涉相衬; Nomarski棱镜; 分束角; 相干平面;

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