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微分相衬干涉显微镜定量测量表面形貌

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摘要

改进了用于定量测量样品表面形貌的微分相衬干涉显微镜系统,对系统中由Nomarski棱镜引起的相位差β的消零工作提出了一种新的方法,实验证明是有效可靠的,并且对样品表面三维形貌重构、截面轮廓比对及系统的测量精度进行了实验研究.

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来源
《光学精密工程》 |2001年第3期|226-229|共4页
作者
许谊; 徐毓娴; 惠梅; 蔡昕;
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作者单位

清华大学精密仪器系,;

清华大学精密仪器系,;

中国科学院西安光机所,;

清华大学精密仪器系,;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类显微镜;
关键词
干涉显微镜; 相衬显微镜; 形貌测量术;

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