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白色光干渉顕微鏡による表面トポグラフイ測定

机译：白光干涉显微镜的表面形貌测量

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摘要

1．ま見がき1881年にAlbertA．Michelsonが，光速度計測のために，マイケルソン干渉計1）を発明した．そのおよそ100年後の1985年に米国Arizona大学のJamesC．Wyant2）のグループは，位相シフト法の原型とでもいうべきシステムを開発し，IBMの研究者とともに磁気テープの表面性状を解析し，論文発表した．それから25年，白色光干渉顕微鏡市場に多数の会社が名乗りを上げ，独自技術の開発や既存技術のブラシエアツプにしのぎを削り，結果として，半導体，電子部品，表示デバイス，プラスチックフィルムなどの微小段差測定やナノレベル，サブナノレベルの表面性状測定に欠かせない装置としての地位を確立するに至った．ここでは，本技術の基本原理の紹介，課題と対策，現在の技術動向について述べる．
机译：1。前言1881年Albert A.迈克尔逊发明了用于测量光速的迈克尔逊干涉仪。大约100年后的1985年，美国亚利桑那大学的James C.。 Wyant2）小组开发了一个应被称为相移方法原型的系统，并与IBM研究人员一起分析了磁带的表面特性，并发表了一篇论文。从那时起的25年中，许多公司进入了白光干涉显微镜市场，并开发了自己的技术，并剃了现有技术的无刷胶带。我们已经确立了作为纳米和亚纳米级表面性能测量必不可少的设备的地位。本节介绍了该技术的基本原理，问题和对策以及当前的技术趋势。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2010年第9期|p.999-1002|共4页
  • 作者

    西川　孝;

  • 作者单位

    株式会社ニコン（東京都千代田区有楽町1－12－1）システムデザイナー;

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