微分干涉相衬金相显微镜Nomarski棱镜设计

声明

摘要

第一章 绪论

1．1 研究背景

1．2 本课题的研究内容和意义

1．3 本论文所做的工作与内容安排

第二章 金相显微镜

2．1 引言

2．2 金相显微镜的基本原理

2．2．1 金相显微镜的成像原理

2．2．2 金相显微镜的像差

2．2．3 金相显微镜的像质

2．3 金相显微镜的构造

2．3．1 光学系统

2．3．2 机械系统

2．3．3 照明系统

2．4 金相显微镜的性能检测

2．4．1 检测过程

2．4．2 检测结果

2．5 本章小结

第三章 微分干涉相衬显微术

3．1 引言

3．2 微分干涉相衬显微术

3．2．1 微分干涉相衬显微术基本原理

3．2．2 微分干涉光学原理

3．2．3 形成微分干涉相衬显微术的具备条件

3．3 典型的Nomarski棱镜设计

3．3．1 分束角的设计计算

3．3．2 相干面距离的设计计算

3．3．3 光程差的计算

3．4 改进型的Nomarski棱镜设计

3．4．1 分束角的设计计算

3．4．2 相干面距离的设计计算

3．4．3 光程差的计算

3．5 MATLAB仿真设计

3．5．1 典型的Nomarski棱镜仿真

3．5．2 改进型的Nomarski棱镜仿真

3．6 CAD棱镜设计

3．7 棱镜检测

3．8 本章小结

第四章 微分干涉相衬金相显微镜的性能检测

4．1 引言

4．2 检测过程

4．3 检测结果

4．4 本章小结

第五章 结束语

参考文献

致谢