聚酰亚胺自支撑膜的制备及其表面形貌

著录项

• 来源
  《光学仪器》 |2006年第2期|84-88|共5页
• 作者

  王勇; 吴永刚; 戚同非; 田国勋; 焦宏飞; 张莉;

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• 作者单位

  同济大学波耳固体物理研究所,精密光学工程技术研究所,上海,200092;

  同济大学波耳固体物理研究所,精密光学工程技术研究所,上海,200092;

  同济大学波耳固体物理研究所,精密光学工程技术研究所,上海,200092;

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  同济大学波耳固体物理研究所,精密光学工程技术研究所,上海,200092;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 薄膜物理学;
• 关键词

  聚酰亚胺; 自支撑膜; 表面形貌; 物理气相沉积;