HgCdTe光伏器件多层钝化膜等离子体处理的研究

著录项

• 来源
  《光学仪器》 |2006年第4期|56-59|共4页
• 作者

  储开慧; 乔辉; 汤英文; 陈江峰; 胡亚春; 贾嘉; 李向阳; 龚海梅;

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• 作者单位

  中国科学院上海技术物理研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200083;

  中国科学院上海技术物理研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200083;

  中国科学院上海技术物理研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200083;

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  中国科学院上海技术物理研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200083;

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  中国科学院上海技术物理研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200083;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 化合物半导体;
• 关键词

  O+2清洗; Ar+刻蚀; 钝化; HgCdTe光伏探测器;