AFM纳米加工系统设计

著录项

• 来源
  《光学仪器》 |2005年第2期|76-79|共4页
• 作者

  朱吉牧; 章海军; 张冬仙;

  展开▼
• 作者单位

  浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州 310027;

  浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州 310027;

  浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州 310027;

  展开▼
• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 半导体器件制造工艺及设备;
• 关键词

  AFM; 纳米结构; 刻蚀;