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一种并行共焦显微镜的设计与研制

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并行共焦显微镜是一种综合了光学、机械、电子、计算机及数字图像处理等技术,具有较高的横向和纵向分辨力的新颖三维表面无损检测仪器.为了保证其装配调节方便,在关键部件的结构设计上采用了微调结构,主要介绍了并行共焦显微镜的光学系统、物镜组设计、关键部件的微调结构设计及结构组成.

著录项

来源
《光学仪器》 |2005年第6期|72-75|共4页
作者
高晓斌; 余晓芬;
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作者单位

合肥工业大学仪器仪表学院,安徽,合肥,230009;

合肥工业大学仪器仪表学院,安徽,合肥,230009;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光检测技术;
关键词
并行共焦测量; 表面检测; 微调结构;

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