光学干涉滤光片的石英晶体膜厚自动监控技术

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• 来源
  《光学仪器》 |2005年第6期|89-93|共5页
• 作者

  马志亮; 王夏; 闫宏;

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• 作者单位

  北京电影机械研究所,北京,100026;

  北京电影机械研究所,北京,100026;

  北京电影机械研究所,北京,100026;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 自动化系统;高频振荡器;
• 关键词

  石英晶体; 膜厚监控; 光学薄膜;