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硬膜矩形带通滤光片

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摘要

介绍了带宽系列３０～４０ｎｍ的硬矩形化带片的设计和制造方法。采用七半滤系以获得形化程度较高的通带波形和深度的背景抑制特性（ＯＤ５～ＯＤ６），结合工艺特性和允差模拟分析对膜系进行优化设计。采用光学过正极值法监控膜厚，彩非球面夹具解决膜厚均匀性问题，文中给出了设计和测试结果。

著录项

来源
《光学仪器》 |1999年第4期|137-140|共4页
作者
费书国; 廖邦俊;
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作者单位

沈阳仪器仪表工艺研究所;

沈阳仪器仪表工艺研究所;

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正文语种 CHI
中图分类薄膜物理学;
关键词
硬膜; 矩形带通; 通带邻域背景; 波形系数; 滤光片;

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