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双焦干涉球面轮廓仪机构分析

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摘要

介绍了双焦干涉球面微观轮廓仪的总体设计，对仪器结构的信心部分；扫描工作台和调焦系统的设计作了详细的分析并通过不同Ｒ的球面进行了实例示例。

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来源
《光学仪器》 |1996年第4期|22-27|共6页
作者
徐敏; 卓永模;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TH744.3;
关键词
双焦干涉; 轮廓仪; 球面测试;

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