基于偏振分像的制冷器件晶粒双面等光程共焦成像缺陷检测装置

著录项

• 来源
  《光学仪器》 |2021年第6期|64-69|共6页
• 作者

  廖廷俤; 颜少彬; 黄启禄; 黄衍堂; 崔旭东;

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• 作者单位

  泉州师范学院光子技术研究中心 福建泉州 362000;

  泉州师范学院福建省先进微纳光子技术与器件重点实验室 福建泉州 362000;

  泉州师范学院福建省超精密光学工程技术与应用协同创新中心 福建泉州 362000;

  泉州师范学院光子技术研究中心 福建泉州 362000;

  泉州师范学院光子技术研究中心 福建泉州 362000;

  泉州师范学院福建省先进微纳光子技术与器件重点实验室 福建泉州 362000;

  泉州师范学院福建省超精密光学工程技术与应用协同创新中心 福建泉州 362000;

  泉州师范学院福建省先进微纳光子技术与器件重点实验室 福建泉州 362000;

  泉州师范学院光子技术研究中心 福建泉州 362000;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 光纤元件;
• 关键词

  机器视觉; 光学设计; 自动光学检测; 偏振分束器; 半导体制冷器晶粒;