微机电陀螺耦合刚度的辨识

陈志勇; 刘悦琛; 张嵘; 周斌

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微机电陀螺耦合刚度的辨识

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针对微机电陀螺耦合刚度的辨识,提出了以驱动轴、检测轴、驱动-转动耦合和驱动-检测耦合频率响应特性为基础的耦合刚度辨识方法.设计了一种驱动轴和检测轴双向位移解耦的双质量线振动微机电陀螺,基于经过简化的梁的刚度特性建立了微陀螺平面运动动力学方程,导出了结构在存在耦合刚度情况下驱动轴、检测轴、驱动-转动耦合和驱动-检测耦合的传递函数.根据耦合传递函数把刚度耦合产生的根源定位到特定的几组梁之间的刚度误差.通过驱动-转动耦合与驱动轴幅频特性之比辨识出驱动-转动耦合刚度系数,通过驱动-检测耦合与检测轴幅频特性之比辨识出转动-检测耦合刚度系数.实验测试了设计加工的微陀螺的频率响应特性,利用提出的耦合刚度辨识方法得到陀螺的驱动-转动和转动-检测耦合刚度系数分别为0.14N和0.054 33 N.得到的耦合刚度的辨识结果可为微陀螺梁刚度的激光修调提供参数依据.

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来源
《光学精密工程》 |2016年第9期|2240-2247|共8页
作者
陈志勇; 刘悦琛; 张嵘; 周斌;
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作者单位

清华大学精密仪器系,北京100084;

清华大学精密仪器系,北京100084;

清华大学精密仪器系,北京100084;

清华大学精密仪器系,北京100084;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类陀螺仪表;
关键词
微机电陀螺; 耦合刚度; 辨识方法; 模型; 频率响应;

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