硅微z轴谐振陀螺仪负电刚度效应分析及实验验证

夏敦柱; 周百令; 王寿荣

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硅微z轴谐振陀螺仪负电刚度效应分析及实验验证

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介绍了在开环工作状态下硅微z轴谐振陀螺仪由于加工工艺缺陷所导致的误差机理.为减小陀螺仪初始电容差和抑制正交耦合误差,提出了一种闭环控制检测策略.重点分析了其力矩反馈器的电刚度效应并给出其线性数学模型表示式.通过对硅微z轴陀螺仪敏感模态的反馈力与谐振频率的关系分析,间接得出了在敏感方向上电负刚度与力矩器所施电压的内在联系,并在实验上进一步验证电刚度效应.这将为下一步闭环控制方案的设计奠定重要基础.

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来源
《中国工程科学》|2007年第8期|66-6891|共4页
作者
夏敦柱; 周百令; 王寿荣;
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作者单位

东南大学仪器科学与工程学院,南京,210096;

东南大学仪器科学与工程学院,南京,210096;

东南大学仪器科学与工程学院,南京,210096;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 U666.123;
关键词
硅微z轴陀螺仪; 负电刚度; 力矩反馈器; 微机电系统;

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