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基于负刚度效应的垂直轴硅微谐振式加速度计

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本发明提供了一种基于负刚度效应的垂直轴硅微谐振式加速度计，该加速度计（100）包括第一外部质量块（101）、设置在第一外部质量块（101）内部且与第一外部质量块（101）相连的第一平面谐振器（103a）、设置在第一外部质量块（101）右方且与第一外部质量块（101）相连的第二外部质量块（102）、设置在第二外部质量块（102）内部且与第二外部质量块（102）相连的第二平面谐振器（103b）；本发明结构简单、与平面工艺兼容，避免了常规谐振加速计中细长谐振梁的设计、加工等难点，同时降低了应力、温度对加速度计性能的影响，同时其平面式结构特征便于实现多轴集成。

著录项

公开/公告号CN102749479B

专利类型发明专利
公开/公告日2014-04-23

原文格式PDF
申请/专利权人东南大学;
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申请/专利号CN201210202357.9
发明设计人杨波;王寿荣;赵辉;
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申请日2012-06-18
分类号G01P15/097(20060101);B81B3/00(20060101);
代理机构32112 南京天翼专利代理有限责任公司;
代理人汤志武
地址 210096 江苏省南京市四牌楼2号
入库时间 2022-08-23 09:18:22

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-07-10

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01P 15/097 授权公告日:20140423 终止日期:20170618 申请日:20120618

专利权的终止
2014-04-23

授权

授权
2014-04-23

授权

授权
2012-12-19

实质审查的生效 IPC(主分类):G01P 15/097 申请日:20120618

实质审查的生效
2012-12-19

实质审查的生效 IPC(主分类):G01P 15/097 申请日:20120618

实质审查的生效
2012-10-24

公开

公开
2012-10-24

公开

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