基于二氧化硅溅射的PMMA和PDMS亲水改性

叶雄英; 李子尚; 冯金扬; 马增帅

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基于二氧化硅溅射的PMMA和PDMS亲水改性

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为了提高以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和聚二甲基硅氧烷(PDMS)为材料的微流体通道的浸润性,通过溅射SiO2对PMMA和PDMS进行了表面亲水改性处理.首先,对PMMA和PDMS进行氧等离子刻蚀,改变其表面形貌;然后,溅射SiO2进行表面亲水改性处理,由不同溅射时间得到不同厚度的SiO2薄膜.在亲水处理后一段时间之内对PMMA和PDMS表面分别进行接触角测量,评价不同条件下的改性效果,并对改性后的样片进行黏接性测试.结果表明:氧等离子刻蚀后,溅射时间10 min以上的PMMA表面可在10天内保持极亲水的状态;溅射时间15 min后的PMMA在35天之内接触角不超过10°;PDMS的亲水性可保持10天,接触角不超过60°;高温老化处理能延缓PDMS表面疏水性的恢复.实验结果显示:氧等离子刻蚀之后,溅射SiO2的方法可使PMMA和PDMS获得较长时间的表面亲水改性效果.另外,亲水改性处理后的PDMS之间仍可实现有效黏接,改性PMMA与未改性PDMS也能有效黏接.

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来源
《光学精密工程》 |2014年第8期|2096-2102|共7页
作者
叶雄英; 李子尚; 冯金扬; 马增帅;
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作者单位

清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京100084;

清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京100084;

清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京100084;

清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京100084;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类一般性问题;
关键词
聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA); 聚二甲基硅氧烷(PDMS); 亲水改性; 溅射; 二氧化硅; 等离子刻蚀;

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