采用亚微米埋入式光栅的彩色滤光片

叶燕; 周云; 张恒; 陈林森

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采用亚微米埋入式光栅的彩色滤光片

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为进一步提高彩色滤光片的色度性能和光能利用率,设计了一种宽带宽高透射率的亚微米埋入式光栅结构,该结构由PMMA基底、ZnS膜层、二维Al金属光栅和SiO2覆盖层等组成.采用严格耦合波理论分析了ZnS膜层厚度、周期、占空比等结构参数对透射光谱特性的影响,并在此基础上优化结构参数,获得了宽带宽滤波输出.当透射光谱中心波长为635,530和455 nm时,相应透射效率分别为68%,78%和71%,半极大值处全宽(FWHM)约为100 nm.计算结果表明,与其他应用于彩色滤光片的光栅结构相比,所设计光栅结构的中心光谱透射效率可提高19%,并有效减少了三色输出光谱之间的重叠区域,提高了彩色滤光片的色度性能.

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来源
《光学精密工程》 |2010年第4期|816-822|共7页
作者
叶燕; 周云; 张恒; 陈林森;
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作者单位

苏州大学,信息光学工程研究所,江苏,苏州,215006;

苏州大学,信息光学工程研究所,江苏,苏州,215006;

苏州大学,信息光学工程研究所,江苏,苏州,215006;

苏州大学,信息光学工程研究所,江苏,苏州,215006;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类干涉与衍射;
关键词
亚微米埋入式光栅; 宽带光谱; 彩色滤光片;

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