微细光成型固化工艺参数优化

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• 来源
  《光学精密工程》 |2007年第4期|453-459|共7页
• 作者

  王翔; 赵钢; 马德盛; 黄文浩;

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• 作者单位

  中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,安徽,合肥,230026;

  中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,安徽,合肥,230026;

  中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,安徽,合肥,230026;

  中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,安徽,合肥,230026;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 光刻、掩膜;
• 关键词

  微细加工; 微细光成型; 光固化; 工艺优化;