简易低成本柔性神经微电极制作方法

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• 来源
  《光学精密工程》 |2007年第7期|1056-1063|共8页
• 作者

  周洪波; 李刚; 张华; 孙晓娜; 姚源; 金庆辉; 赵建龙; 任秋实;

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• 作者单位

  中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;

  中国科学院研究生院,北京,100039;

  中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;

  中国科学院研究生院,北京,100039;

  中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;

  中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;

  中国科学院研究生院,北京,100039;

  中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;

  中国科学院研究生院,北京,100039;

  中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;

  中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;

  上海交通大学激光与生物医学研究所,上海,200030;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 神经生理学;
• 关键词

  柔性微电极; 神经假体; 聚酰亚胺; 凹槽结构; 牺牲层;