电磁型平面微电机及其制作工艺

郭占社; 吴一辉; 宣明; 王淑荣

首页> 中文期刊> 《光学精密工程》 >电磁型平面微电机及其制作工艺

电磁型平面微电机及其制作工艺

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

为得到一种尺寸小、输出力矩大、转速高的直流可调速微电机,提出了一种利用微机械加工工艺制作微电机的方法.定子和转子都做成平面结构,定子线圈采用了平面型、无槽式集中绕组;线圈之间采用了三相星形连接方式,采用了微机械LIGA工艺和硅微机械加工工艺;转子采用钕铁硼永磁材料,进行轴向充磁,成辐射状间隔分布.装配时转子分布于定子两侧,不但减小了电机尺寸,还有利于定子的散热.把装配完毕的微电机接通三相半控控制电路对其转速和力矩进行了测试,测试结果表明,电机运转平稳,输出力矩大.

著录项

来源
《光学精密工程》 |2003年第2期|120-124|共5页
作者
郭占社; 吴一辉; 宣明; 王淑荣;
展开▼
作者单位

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130022;

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130022;

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130022;

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130022;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类其他;
关键词
平面微电机; LIGA工艺;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 平面电磁型微电机定转子制作工艺 [J] . 杨杰伟 ,刘治华 ,赵江铭 . 微纳电子技术 . 2009,第9期
2. 基于ML4426的电磁型平面微电机转速控制 [J] . 杨志斌 ,黎海文 ,吴一辉 . 微电机 . 2004,第006期
3. 平面微电机定子线圈制作工艺研究 [J] . 杨杰伟 ,吴一辉 ,王淑荣 . 微细加工技术 . 2006,第003期
4. 双转子平面微电机定子制作工艺研究 [J] . 梁静秋 ,郭占社 ,吴一辉 . 微细加工技术 . 2003,第001期
5. 电磁微电机中平面微线圈磁场分布特性的研究 [J] . 车录锋 ,吕琼莹 ,王立鼎 . 功能材料与器件学报 . 1996,第3期
6. 可抑制超宽带同步切换噪声的Z型平面电磁带隙结构 [C] . 申振宁 ,周子琛 . 2010年亚太青年通信与技术学术会议 . 2010
7. 基于微机械工艺的电磁型平面微电机的研究 [A] . 郭占社 . 2003

电磁型平面微电机及其制作工艺

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅